主要特点

◎ 石墨烯薄膜产能（产业化）设备；

◎ 宽幅卷对卷连续生长；

◎ APC系统：真空碟阀自动控制；

◎ 碳源等工艺气体MFC控制；

◎ 薄膜制备过程全自动控制；

◎ 三腔室结构；

主要参数

◎ 工作温度：1020℃ ~1050℃ 

◎ 恒温区：1000mm、五段控温

◎ 工艺管材质：石英管

◎ 工艺管内径：Φ250mm

◎ 铜箔宽度：200mm

◎ 铜箔运行速度约:100-400mm/min，可调

◎ 极限真空度：小于3Pa, 可恒压控制