设备主要特点

◎ 工艺曲线的自动运行控制功能

◎ 智能升降温斜率控制功能

◎ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能

◎ 系统故障的检测与报警功能

◎ 系统误差修正(单点或多点动态修正功能)

◎ 停电后断点继续运行功能

★ 该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。

★ 支持SECS/GEM通讯

主要技术参数

◎ 可配工艺管数量:1~4管/台

◎ 工作温度范围:200℃~800℃

◎ 恒温区长度:300~1100mm

◎ 单点温度稳定性:±1℃//24h

◎ 最大可控升温速度:15℃//min;